• 產品詳情
    • 產品名稱:等離子增強型CVD系統

    • 產品型號:TN-O1200-50IS-PECVD
    • 產品廠商:泰諾
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    簡單介紹:
    TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。
    詳情介紹:

    ○ 產品介紹

    TN-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。


    ○ 技術參數

    結構特點

    ? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度

      ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精準的調控 

    工作電源

     ? AC208-220V,50/60Hz

    ? 總功率:4KW

    溫區管式

     ? 較高溫度:1100oC(< 2h) 連續工作溫度:1000℃

     ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統 

    ? 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW

    ? 加熱區長度:200mm,溫區:100mm 

    ? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 

    等離子射頻電源

    ? 輸出功率:0-150W可調(穩定性:±1%

    ? 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%)

    ? 較大反射功率:150W

     ? 匹配:自動匹配

    ? 射頻輸出端口:50Ω、N

    ? 噪音:<50dB

    ? 冷卻: 空氣冷卻

    ? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

    石英管

    ? 高純石英管

    ? 尺寸:φ50mm*1200mm L 

    密封法蘭  

    ? 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)

    真空泵(該部分為選配,單獨計費)

    ? 雙級真空泵 

    ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

    3通道質子流量計控制系統(該部分為選配,單獨計費)

    ? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精準控制(精準度:±0.02% 

    ? 流量范圍: 

    一路: 0~100 SCCM 

    二路: 0~200 SCCM 

    三路: 1~200 SCCM 

    ? 電壓:220V AC 50/60Hz

    ? 氣體進出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管

    ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

    尺寸和重量

     ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

     ? 凈重:90kg  

    質保期

    ? 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)

    質量認證

     ? CE認證 

    使用注意事項

    ? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 

    ? 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 

    ? 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 

    ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

     ? 石英管的長時間使用溫度<1100℃

     ? 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生。 


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