• 產品詳情
    • 產品名稱:桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀

    • 產品型號:CY-MSP180G-DC
    • 產品廠商:泰諾
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    簡單介紹:
    本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點
    詳情介紹:

    本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點

    單靶磁控鍍膜儀技術參數:

    桌面型單靶磁控鍍膜儀

    樣品臺

    尺寸

    φ100mm

    加熱

    *高500

    轉速

    0-20可調

    磁控濺射靶

    數量

    2” x1

    真空腔體

    腔體尺寸

    φ180mm X 215mm

    觀察窗口

    全向透明

    腔體材料

    高純石英

    開啟方式

    上蓋拆卸式

    真空系統

    機械泵

    旋片泵

    分子泵

    渦輪分子泵

    真空測量

    電阻規+電離規

    抽氣接口

    KF16

    抽氣接口

    KF40

    排氣接口

    KF16

    極限真空

    1.0E-4Pa

    供電電源

    AC 220V 50/60Hz

    抽氣速率

    機械泵1.1L/s  分子泵600L/s

    電源配置

    數量

    直流電源 x1

    *大輸出功率

    直流電源150W

     

    其他

    供電電壓

    AC220V,50Hz

    整機功率

    2kW

    整機尺寸

    550mm X 350mm X400mm



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